Field Emission Scanning Electron Microscopeand Energy Dispersive X-ray Spectrometer
FE-SEM-EDS (Apreo-thermoscientific)
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดและอุปกรณ์วิเคราะห์ธาตุ
ยี่ห้อ/รุ่น Apreo S-Thermo Fisher scientific
The FE-SEM is a high-resolution scanning electron microscope which uses electrons to illuminate a sample, instead of visible light used in optical microscope by High-stability Schottky field emission gun. When an electron beam strikes the sample, a variety of signals are generated. The three signals which mostly perform in SEM are secondary electrons, backscattered electrons and X-rays. Secondary electrons (SE) provide fine structure topographical feature of sample surface, backscattered electrons (BE) are used to discriminate areas of different atomic number elements and X-rays are used to identify the composition and measure the number of elements in the sample. The SEM operates in high vacuum so the living samples, liquids and anything that contains liquids must be dried before observing.
The specification of this model is tungsten filament source, 3.0 nm resolution at HV mode and 4.0 nm resolution at LV mode, x 5 to x 300,000 magnification, SE and BE detector. This makes the Apreo SEM the platform of choice for research on nanoparticles, catalysts, powders and nanodevices, without compromising on magnetic sample performance.
Additional EDS is equipped for qualitative and quantitative, mapping and line scan elemental analysis. EDS limitations: no detection of elements below B, X-ray detection limit 1,000 -2,000 ppm (0.1 – 0.2 %wt.) depending on the element and samples must be no fluids.
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (FE-SEM) รุ่น Apreo S-Thermo Fisher scientific เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบที่มีแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนแบบ High-stability Schottky field emission gun เป็นเทคโนโลยีการถ่ายภาพทางเลือกสำหรับการวิจัยเกี่ยวกับอนุภาคนาโนตัวเร่งปฏิกิริยาผงและวัสดุทางนาโนเทคโนโลยีที่ให้ความละเอียดสูงถึง 250,000 เท่า และมี resolution สูงถึง 1.0 nm ที่ 1 keV FE-SEM ลำเลียงอิเล็กตรอนด้วยระบบสุญญากาศ sputter-ion pump ส่วนห้องชิ้นงาน (sample chamber) ใช้ diffusion pump และมีหัววัดสำหรับการวิเคราะห์ ทั้งแบบSecondary Electron Detector และ Backscattered Electron Detector ซึ่งใช้ในการตรวจวิเคราะห์ลักษณะพื้นผิว ขนาด รูปร่างของอนุภาค และลักษณะการกระจายของตัวของอนุภาคในโครงสร้างจุลภาคใช้กันอย่างแพร่หลายทั้งในงานวิจัย และงานภาคอุตสาหกรรมในช่วงระยะเวลาการทำงานสั้นที่ควบคุมการทำงานแบบอัตโนมัติด้วยระบบคอมพิวเตอร์
นอกจากนั้นยังมีการเชื่อมต่อกับอุปกรณ์วิเคราะห์ธาตุเชิงพลังงาน (Energy Dispersive X-Ray Spectrometer : EDS) ซึ่งใช้ในการตรวจวัดองค์ประกอบของธาตุ ชนิด หรือปริมาณที่มีอยู่ในสารประกอบหรือวัสดุต่างชนิดกัน เพื่อระบุโครงสร้างและการจัดเรียงตัวของวัสดุเพื่อประยุกต์ใช้ในงานวิจัยด้านอื่น ๆ ต่อไป
อัตตราค่าบริการ (Instrument Rate)
Instrument | Personal / Students of KMITL | Outsider |
---|---|---|
SEM Usage / Day | 1750 Bath / Hour | 3500 Bath / Hour |
Elemental Analysis | 500 Bath / Hour | 700 Bath / Hour |
* Sputter Coater : 500 Bath
** สถานที่ตั้ง (Organization) : 1st floor HM Building, Faculty of Engineering, King Mongkut's Institute of Technology Ladkrabang